特許

J-GLOBAL ID：201003028582810280

組成物

発明者： 荒山 恭平
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-058038
公開番号（公開出願番号）：特開2010-212489
出願日： 2009年03月11日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【課題】本発明は、半導体素子デバイスなどにおける層間絶縁膜として使用するのに適し、硬膜時における膜減りが小さく、かつ誘電率などの特性に優れた膜を製造することができる組成物、およびその組成物より得られる膜を提供することを目的とする。【解決手段】芳香族炭化水素を主成分とし、分子内の全ての水素原子が前記芳香族炭化水素を構成する炭素原子と結合しており、熱重量分析(1mmHg真空下,昇温速度20°C/min)において5%重量減少温度が250°C〜450°Cを示し、空孔形成剤として作用する化合物(P)と、樹脂または樹脂前駆体とを含有する組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

芳香族炭化水素を主成分とし、分子内の全ての水素原子が前記芳香族炭化水素を構成する炭素原子と結合しており、熱重量分析(1mmHg真空下,昇温速度20°C/min)において5%重量減少温度が250°C〜450°Cを示し、空孔形成剤として作用する化合物(P)と、樹脂または樹脂前駆体とを含有する組成物。

IPC (5件)：

H01L 21/312 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  C08K 5/00 ,  C08L 101/00

FI (6件)：

H01L21/312 A ,  H01L21/312 C ,  H01L21/90 S ,  H01L21/90 N ,  C08K5/00 ,  C08L101/00

Fターム (22件)：

4J002CF161 ,  4J002CH061 ,  4J002CM011 ,  4J002CP031 ,  4J002EA046 ,  4J002ED056 ,  4J002EX006 ,  4J002FD206 ,  4J002GQ01 ,  4J002GQ05 ,  5F033QQ54 ,  5F033RR21 ,  5F033RR29 ,  5F033SS22 ,  5F033XX24 ,  5F058AA03 ,  5F058AA06 ,  5F058AC03 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02