特許
J-GLOBAL ID：201003029048860073
高さ測定装置とその測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (21件)：
鈴江 武彦
, 蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 風間 鉄也
, 勝村 紘
, 河井 将次
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
, 市原 卓三
, 山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-241727
公開番号（公開出願番号）：特開2010-072491
出願日： 2008年09月19日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：
【課題】試料に対する合焦位置を光軸方向に移動させて試料の高さを測定する場合に、測定精度を確保しつつタクトタイムを向上させる。【解決手段】共焦点顕微鏡12を使用した高さ測定装置において、光軸(Z軸)方向に合焦位置を可変するZ軸駆動部125と、Z軸の座標を計測するリニアスケール126と、Z軸上で試料台123を始点位置から終点位置に移動させる時、リニアスケール126のデータと顕微鏡12の画像を取り込み、1つ前の画像の輝度値を比較しながらより輝度値の高い画素とそのZ座標を残す機能、指定した画像上の領域の輝度値をある指定値と比較する機能、その比較値が大きければZ軸移動速度を減速し、減速中に比較値が小さければZ軸移動速度を元の速度に戻す機能を有する制御測定処理装置17とを備え、一定以上の輝度が得られるときのみ低速モードに設定することで、測定精度を落とす事なく測定時間を短縮する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料の光学像を一定のレートで走査し拡大する共焦点顕微鏡と、
前記共焦点顕微鏡により拡大された前記試料の光学像を撮像するカメラと、
前記試料に対し前記撮像のための光を照射する光源と、
前記試料に対する前記共焦点顕微鏡の焦点位置をその光軸方向に移動させるもので、その移動速度として低速モードと高速モードを有する駆動機構と、
前記駆動機構を通じて試料に対する前記共焦点顕微鏡の焦点位置を変化させながら前記カメラにより前記試料の光学像を撮像させてその撮像画像を取得する制御ユニットと
を具備し、
前記制御ユニットは、
前記撮像画像の指定領域の輝度を計算して基準値と比較する比較手段と、
前記焦点位置の移動範囲内で、前記指定領域の輝度値が基準値に満たない範囲では前記駆動機構を高速モードに、基準値以上となる範囲では前記駆動機構を低速モードに選択的に切替制御する速度制御手段と、
前記取得された撮像画像から輝度値が予め設定した最大範囲に含まれる画素領域を抽出し、この抽出した画素領域の輝度値が前記最大範囲内となる画像が取得されたときの前記共焦点顕微鏡の焦点位置をもとに前記試料の高さを算出する算出手段と
を備えることを特徴とする高さ測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2H052AA08
, 2H052AB05
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AD19
, 2H052AD33
, 2H052AD35
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
