特許
J-GLOBAL ID：201003029112676435
乾燥装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村山 光威
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-011851
公開番号（公開出願番号）：特開2010-169308
出願日： 2009年01月22日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：
【課題】基板上の溶液を乾燥させ、乾燥後の発光層の形状を均一にすることができ、しかも安価に製造することができる乾燥装置を提供する。【解決手段】溶液を塗布した基板Pをチャンバー100にて乾燥させる。このチャンバー100内に、乾燥時に蒸発する溶液中の溶媒を吸着する多孔質の吸着部材102を基板Pと相対向させて配置する。吸着部材102の開口率は、吸着部材102の中央部が外周部よりも大きいように設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に塗布された溶液中の溶媒を蒸発させ、かつ吸収する構成の乾燥装置であって、
前記基板が収納される密閉可能なチャンバーと、前記チャンバー内に前記基板に対向設置されて前記溶媒を吸着する多孔質吸着部材とを備え、前記多孔質吸着部材における中央部の開口率を外周部の開口率よりも大きく設定したことを特徴とする乾燥装置。
IPC (5件)：
F26B 5/16
, H01L 51/50
, H05B 33/10
, F26B 9/06
, F26B 5/04
F26B5/16
, H05B33/14 A
, H05B33/10
, F26B9/06 A
, F26B5/04
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC33
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG06
, 3K107GG26
, 3K107GG28
, 3K107GG35
, 3L113AA01
, 3L113AC24
, 3L113AC29
, 3L113AC46
, 3L113AC67
, 3L113AC76
, 3L113BA34
, 3L113DA11
, 3L113DA24
