特許

J-GLOBAL ID：201003029932239552

レジスト材料

発明者： 中村 秀 ,  西村 貴史 ,  鹿毛 崇至 ,  国広 良隆 ,  渡邉 貴志
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
代理人 (2件)： 宮▲崎▼ 主税 ,  目次 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-025879
公開番号（公開出願番号）：特開2010-181693
出願日： 2009年02月06日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】高い反射率を有する白色のレジスト膜を形成でき、かつ高温又は光の照射により、白色から変色し難いレジスト膜を形成できるレジスト材料を提供する。【解決手段】重合性炭化水素単量体及び重合性炭化水素重合体の内の少なくとも一方の物質と、白色のフィラーと、光重合開始剤又は光重合開始剤と増感剤との組合せである光重合開始成分とを含有し、重合性炭化水素重合体がエポキシ樹脂を含み、重合性炭化水素単量体とエポキシ樹脂との波長400nmでのモル吸光係数が1M-1cm-1以下、かつ270°Cで1時間焼成処理後の重合性炭化水素単量体とエポキシ樹脂との波長400nmでのモル吸光係数が5M-1cm-1以下であり、フィラーの長波長側の吸収波長端の波長Xが450nm以下であり、波長(X+10)nmでの光重合開始成分のモル吸光係数が5M-1cm-1以上であるレジスト材料。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

重合性炭化水素単量体及び重合性炭化水素重合体の内の少なくとも一方の物質と、白色のフィラーと、光重合開始成分とを含有し、 前記重合性炭化水素重合体がエポキシ樹脂を含み、 前記光重合開始成分が、光重合開始剤、又は光重合開始剤と増感剤との組合せであり、 前記重合性炭化水素単量体と前記エポキシ樹脂との波長400nmでのモル吸光係数が、1M-1cm-1以下であり、かつ270°Cで1時間焼成処理後の前記重合性炭化水素単量体と前記エポキシ樹脂との波長400nmでのモル吸光係数が、5M-1cm-1以下であり、 前記フィラーの長波長側の吸収波長端の波長をXnmとしたときに、波長Xが450nm以下であり、 波長(X+10)nmでの前記光重合開始成分のモル吸光係数が、5M-1cm-1以上である、レジスト材料。

IPC (8件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/28 ,  C08F 2/44 ,  C08G 59/20 ,  C08F 290/04

FI (9件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/029 ,  H05K3/28 D ,  C08F2/44 Z ,  C08G59/20 ,  C08F290/04 ,  G03F7/004 505

Fターム (76件)：

2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025BC53 ,  2H025BC81 ,  2H025CA02 ,  2H025CA35 ,  2H025CC08 ,  2H025CC17 ,  4J011PA02 ,  4J011PA07 ,  4J011PA13 ,  4J011PA14 ,  4J011PA16 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PA86 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB03 ,  4J011SA61 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J036AJ09 ,  4J036AJ10 ,  4J036FA01 ,  4J036FA03 ,  4J036FA04 ,  4J036FA05 ,  4J036FB01 ,  4J036FB03 ,  4J036JA10 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD061 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE31Y ,  4J127BE311 ,  4J127BE34X ,  4J127BE341 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG101 ,  4J127BG16X ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127CB341 ,  4J127CC091 ,  4J127DA06 ,  4J127DA12 ,  4J127DA52 ,  4J127DA66 ,  4J127EA13 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314AA45 ,  5E314BB02 ,  5E314BB11 ,  5E314CC07 ,  5E314DD07 ,  5E314FF05 ,  5E314GG26