特許

J-GLOBAL ID：201003030034021140

感光性樹脂組成物、ドライフィルム、及びパターン形成方法

発明者： 先崎 尊博 ,  加藤 哲也
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-040601
公開番号（公開出願番号）：特開2010-197568
出願日： 2009年02月24日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：

【課題】永久膜用途に用いられ、ハロンゲンを含有する感光剤を用いていない感光性樹脂組成物、ドライフィルム、及びこのドライフィルムを用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】(A)脂環式エポキシ基を有するポリマー、(B)ラジカル重合性基を有するモノマー、(C)ラジカル重合開始剤、及び(D)光照射によってスルホン酸を発生する感光剤を含む感光性樹脂組成物は、永久膜用途に用いたとしても、微細部品等に用いられる材料を腐食させることがないので、永久膜用途の感光性樹脂組成物として、好適に使用することができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)脂環式エポキシ基を有するポリマー、(B)ラジカル重合性基を有するモノマー、(C)ラジカル重合開始剤、及び(D)光照射によってスルホン酸を発生する感光剤を含む感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08G 59/68

FI (9件)：

G03F7/004 503A ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G59/68

Fターム (28件)：

2H025AB11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC35 ,  2H025BC40 ,  2H025BC43 ,  2H025BC53 ,  2H025BD23 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CA02 ,  2H025CA05 ,  2H025CA07 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA03 ,  2H096HA01 ,  4J036AK08 ,  4J036EA03 ,  4J036EA04 ,  4J036GA26 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09