特許
J-GLOBAL ID：201003030586482257

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
有本 真治

有本 真治 について

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藤田 陽二

藤田 陽二 について

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宮部 倫次

宮部 倫次 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-189490
公開番号（公開出願番号）：特開2010-026359
出願日： 2008年07月23日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：
【課題】硬化後の熱処理による変色が少ないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】(a)ノボラック樹脂、(b)一般式(1)で表される構造単位を主成分とする樹脂、(c)酸化防止剤、オキセタン基含有化合物またはイソシアネート基含有化合物、(d)キノンジアジド化合物および(e)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(上記一般式(1)中、R1およびR2は炭素数2以上の2価〜8価の有機基を示す。R3およびR4はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、水素または炭素数1〜20の1価の有機基を示す。fおよびmは0〜2の整数、pおよびqは0〜4の整数を示す。)【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)ノボラック樹脂、(b)一般式(1)で表される構造単位を主成分とする樹脂、(c)酸化防止剤、オキセタン基含有化合物またはイソシアネート基含有化合物、(d)キノンジアジド化合物および(e)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/10
FI (4件)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/10
Fターム (24件)：
2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB29 ,  2H025CC01 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA19 ,  4J043PB21 ,  4J043PC075 ,  4J043PC145 ,  4J043QB31 ,  4J043SA11 ,  4J043SA12 ,  4J043SA77 ,  4J043SB01 ,  4J043XA16 ,  4J043YA06 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (2件)

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