特許

J-GLOBAL ID：201003031311012575

静電型アクチュエータ

発明者： 稲葉 剛
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (3件)： 松浦 孝 ,  藤 拓也 ,  潮 太朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-135329
公開番号（公開出願番号）：特開2010-283994
出願日： 2009年06月04日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：

【課題】櫛歯状電極の数を増やすことなく大きな駆動力を生じる静電型アクチュエータを得る。【解決手段】第1及び第2の可動体側電極320a、320bが伸びる方向に対して直角かつ鏡面301と平行な方向における長さを第1及び第2の可動体側電極320a、320bの幅とすると、第1及び第2の可動体側電極320a、320bの幅は、可動体300との接続部において最も広い幅を有し、枠体200に近づくにつれて線形に狭くなる。また、可動体300の厚さ方向における第1及び第2の可動体側電極320a、320bの長さは、可動体300との接続部において、また枠体200との最接近部において同じである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定部に対して可動部を揺動自在に支持する揺動軸と、 前記揺動軸から突出する複数の可動部側電極を有する櫛歯状電極とを備え、 前記可動部側電極の突出方向に対して直角かつ前記揺動軸に対して平行な第1の断面における前記可動部側電極の突出端の断面積は、前記断面における前記可動部側電極の断面積のうち最大のものよりも小さい静電型アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N 1/00 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

H02N1/00 ,  G02B26/08 E ,  B81B3/00

Fターム (16件)：

2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC07 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MF30 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  3C081AA11 ,  3C081BA07 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081EA41