特許

J-GLOBAL ID：201003032183809674

水晶振動片及びその製造方法、振動子、発振器、電子機器

発明者： 北村 文孝
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-022305
公開番号（公開出願番号）：特開2010-183137
出願日： 2009年02月03日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】小型で安定した周波数特性を有する水晶振動片及びその製造方法、振動子、発振器、電子機器を提供する。【解決手段】本発明の音叉型水晶振動片1は、基部110と基部110から互いに平行に延出された一対の音叉腕121,122とを有する振動片本体102と、音叉腕121,122の両主面に形成された励振電極123a,124aと、音叉腕121,122の両側面に形成された駆動電極123b,124bとを有し、音叉腕121,122に沿って延び、水晶とは異なる組織構造を有する変質部151,152が少なくとも音叉腕121,122の長さ方向全体に亘って形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と前記基部から互いに平行に延出された一対の振動腕部とを有する振動片本体と、前記振動腕部の両主面に形成された励振電極と、前記振動腕部の両側面に形成された駆動電極とを有する水晶振動片であって、 前記振動腕部に沿って延び、水晶とは異なる組織構造を有する変質部が少なくとも前記振動腕部の長さ方向全体に亘って形成されている ことを特徴とする水晶振動片。

IPC (7件)：

H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/215 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

H03H9/19 J ,  H03H3/02 D ,  H03H9/215 ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (41件)：

5J079AA02 ,  5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079BA43 ,  5J079BA44 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA14 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J079HA29 ,  5J108AA02 ,  5J108AA04 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108DD02 ,  5J108DD09 ,  5J108EE02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF05 ,  5J108FF10 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG04 ,  5J108GG09 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108NA03