特許
J-GLOBAL ID:201003033224631938

X線レーザー発生方法及びX線レーザー発生装置、ターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 堀 城之 ,  塩田 康弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-042407
公開番号(公開出願番号):特開2010-199292
出願日: 2009年02月25日
公開日(公表日): 2010年09月09日
要約:
【課題】テープ状のターゲット上にパルスレーザー励起光を線状に集光する構成を用いて、安定してX線レーザーを発生させる。【解決手段】テープターゲット11の巻き取り方向における一端は第1のリール12に固定され、かつ初期状態では第1のリール12に巻き付いた状態とされる。このX線レーザー発生装置10においては、テープターゲット11へのパルスレーザー励起光の照射時に、第1のモータ15及び/又は第2のモータ17に回転トルクを発生させることによって、テープターゲット11に張力が働く構成とされる。特に、パルスレーザー励起光が照射される、2つのターゲット支持用ローラ24間の領域においてこの張力が働く構成とされる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
パルス状の励起光を線状に集光してテープ状のターゲットに照射することによってX線レーザーを発生させるX線レーザー発生方法であって、 前記パルス状の励起光の照射時に、前記テープ状のターゲットにおける前記パルス状の励起光の照射領域に張力を印加することを特徴とするX線レーザー発生方法。
IPC (2件):
H01S 3/094 ,  H01S 4/00
FI (2件):
H01S3/094 Z ,  H01S4/00
Fターム (3件):
5F172AG05 ,  5F172EE12 ,  5F172ZZ14

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