特許
J-GLOBAL ID：201003033546958630
補償光学系を備えた光画像取得装置、及び、その制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-097375
公開番号（公開出願番号）：特開2010-246653
出願日： 2009年04月13日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：
【課題】走査に用いるビームの光量を、安全規格などの規定光量内に抑えたままで画像取得時間の高速化を図ることができると共に、補償光学系で画像の高精細化を確保しつつ、画像取得時間の高速化を簡単な構成で実現することができる光画像取得装置等を提供する。【解決手段】被検査物の光画像を取得する補償光学系を備えた光画像取得装置であって、 前記補償光学系は、 複数のビームからなる測定光により測定対象面を走査した際に、被検査物によって発生する前記複数のビームのうち、少なくとも1つの各ビームにおける波面収差を検出する波面収差検出器と、 波面収差検出器によって検出された波面収差に応じて、複数の各ビームのそれぞれの波面収差を補正する単一の波面収差補正器と、 を備え、前記複数のビームが、前記単一の波面収差補正器に異なる角度で入射されて重ね合わされ、前記複数の各ビームにおける前記波面収差が補正される構成とする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被検査物である測定対象面を、複数のビームからなる測定光で走査した際における該測定対象面からの反射あるいは後方散乱光を、補償光学系で補正して該被検査物の光画像を取得する補償光学系を備えた光画像取得装置であって、
前記補償光学系は、
前記複数のビームからなる測定光により前記測定対象面を走査した際に、該被検査物によって発生する反射あるいは後方散乱光の波面収差を検出する波面収差検出器と、
前記波面収差検出器によって検出された波面収差に応じて、前記複数の各ビームのそれぞれの波面収差を補正する単一の波面収差補正器と、
を備え、前記複数のビームが、前記単一の波面収差補正器に異なる角度で入射されて重ね合わされ、前記複数の各ビームにおける前記波面収差が補正されることを特徴とする補償光学系を備えた光画像取得装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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