特許

J-GLOBAL ID：201003033834072809

複屈折測定装置及び複屈折測定方法

発明者： 五味 健二
出願人/特許権者： 学校法人東京電機大学
代理人 (5件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦 ,  土屋 徹雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007062019
公開番号（公開出願番号）：WO2008-026363
出願日： 2007年06月14日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

本発明は、3つの光強度情報しか必要とせず、そのため、比較的に安価な装置構成で被測定体の複屈折特性が測定できる複屈折測定装置であって、被測定体に対して特定の偏光状態を有する光束を射出する光源1と、被測定体を経た光束に対して、所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出する光学系と、光学系の抽出した所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を検出する光量検出手段9と、光量検出手段により検出された被検光束の光量それぞれを所定の関数式に代入することで、被測定体の複屈折の大きさ及びその方位角を算出する複屈折量算出手段20とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被測定体に存在する1/4波長未満の複屈折の大きさ及びその方位角を測定する複屈折測定装置であって、 前記被測定体に対して特定の偏光状態を有する光束を射出する光源と、 前記被測定体を経た光束に対して、所定の3つの偏光方向の光束それぞれを抽出する光学系と、 前記光学系の抽出した前記所定の3つの偏光方向の光束それぞれの光量を検出する光量検出手段と、 前記光量検出手段により検出された前記被検光束の光量それぞれを所定の関数式に代入することで、前記被測定体の複屈折の大きさ及びその方位角を算出する複屈折量算出手段とを有することを特徴とする複屈折測定装置。

IPC (2件)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/23

FI (2件)：

G01J4/04 Z ,  G01N21/23

Fターム (10件)：

2G059BB15 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01