特許
J-GLOBAL ID：201003033835630392
レーザアニール装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有近 紳志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-092784
公開番号（公開出願番号）：特開2010-245319
出願日： 2009年04月07日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：
【課題】ミッシングパルスの発生を迅速に判定する。シャッタの開閉のタイミングによってミッシングパルスの発生を誤判定してしまうことを防止する。【解決手段】シャッタ開信号bの立上りから所定の期間G内に閾値r以上のビームセンサ信号bが検知されない場合にミッシングパルスがあったと判定する。nを自然数とし、αをシャッタの開タイミングの最大ずれ時間とするとき、n×T+α<G<(n+1)×T-αとする。【効果】nミッシングパルスが発生した時、ただちにミッシングパルスの発生を判定することが出来る。シャッタの開閉のタイミングによってミッシングパルスの発生を誤判定してしまうことがない。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
所定の幅を有するレーザビームを周期Tのパルス状に基板(P)に照射し且つ照射位置を前記幅方向に所定のピッチで移動するレーザアニール装置であって、レーザビーム強度を検出するビームセンサ手段(4)と、前記ビームセンサ手段(4)で得られたレーザビーム強度と所定の閾値とを比較するコンパレータ手段(5)と、シャッタ(9)が開いたタイミングを検出するシャッタセンサ手段(10)と、前記シャッタ(9)が開いたタイミングから所定の期間G内に前記閾値以上のレーザビーム強度が検知されない場合にミッシングパルスがあったと判定するミッシングパルス判定手段(18)とを具備し、nを自然数とし、αをシャッタ(9)の開タイミングの最大ずれ時間とするとき、n×T+α<G<(n+1)×T-αであることを特徴とするレーザアニール装置(100)。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/268 T
, H01L21/268 F
, H01L21/20
5F152AA17
, 5F152AA20
, 5F152CC02
, 5F152CE05
, 5F152EE01
, 5F152EE05
, 5F152FF01
, 5F152FG04
, 5F152FG29
, 5F152FH03
, 5F152FH04
, 5F152FH05
, 5F152FH19
