特許

J-GLOBAL ID：201003036407387725

露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法

発明者： 佐藤 真路
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-291619
公開番号（公開出願番号）：特開2010-157724
出願日： 2009年12月24日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学系と、射出面から射出される露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置された第1面と、第1面が面する空間に面するように第1面の周囲の少なくとも一部に配置され、光路を液体で満たすために空間に液体を供給する供給口と、供給口から供給され、射出面の周縁から上方に、及び/又は光学系の光軸に対する放射方向に延びる光学系の側面が面する空隙部に第1開口を介して流入した液体の少なくとも一部を回収する回収部とを備え、基板の露光の少なくとも一部において、射出面の下方に配置された基板の表面が、射出面及び第1面に対向し、射出面と基板の表面との間の液体を介して射出面からの露光光で基板を露光する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を露光する露光装置において、 露光光を射出する射出面を有する光学系と、 前記射出面から射出される前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置された第1面と、 前記第1面が面する空間に面するように前記第1面の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光路を液体で満たすために前記空間に液体を供給する供給口と、 前記供給口から供給され、前記射出面の周縁から上方に、及び/又は前記光学系の光軸に対する放射方向に延びる前記光学系の側面が面する空隙部に第1開口を介して流入した前記液体の少なくとも一部を回収する回収部と、を備え、 前記基板の露光の少なくとも一部において、前記射出面の下方に配置された前記基板の表面が、前記射出面及び前記第1面に対向し、 前記射出面と前記基板の表面との間の液体を介して前記射出面からの前記露光光で前記基板を露光する露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB24 ,  5F046CC08 ,  5F046DA27