特許
J-GLOBAL ID：201003036753768662
誘導結合型アンテナユニット及びプラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-068029
公開番号（公開出願番号）：特開2010-225296
出願日： 2009年03月19日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：
【課題】真空容器に着脱が容易で真空容器内に高密度な放電プラズマを生成する誘導結合型アンテナユニットを提供する。また、これらの誘導結合型アンテナユニットを複数個用いた任意の面積で生産性の高いプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】本誘導結合型アンテナユニットは、誘電体筐体11と、該筐体の蓋体12と、該蓋体に装着したU字形のアンテナ導体14とからなり、該アンテナ導体のU字形部分が前記筐体内に収容され、一体化された構造とする。アンテナ導体として金属パイプを採用し、そのU字形部分に細孔15を設け、前記筐体内に冷却ガスを噴射させてアンテナ導体及び誘電体筐体を冷却できる構成とする。該アンテナユニットをプラズマ処理装置の真空容器壁に設けた開口部に容易に着脱できる構造とする。また、当該誘導結合型アンテナユニットを複数個配列して任意の処理面積を有する生産性の高いプラズマ処理装置を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置等の真空容器の壁面に設けられた開口部に気密を保って装着される誘導結合型アンテナユニットであって、コの字形又はU字形等の誘導結合型アンテナを収容する誘電体筐体と蓋体とからなり、前記コの字形又はU字形等の誘導結合型アンテナ導体が前記蓋体に貫通して取り付けられ、又はフィードスルーを介して取り付けられ、前記誘導結合型アンテナのコの字形部分又はU字形部分が前記誘電体筐体内に収容されている構造であることを特徴とする誘導結合型アンテナユニット。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/306
, C23C 16/505
H05H1/46 L
, H01L21/302 101C
, C23C16/505
4K030FA04
, 4K030KA26
, 4K030KA30
, 4K030KA46
, 5F004AA01
, 5F004AA16
, 5F004BB13
, 5F004BB29
, 5F004CA03
