特許

J-GLOBAL ID：201003038050451406

圧力センサのパッケージ構造

発明者： 菊入 勝也
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (2件)： 野▲崎▼ 照夫 ,  三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-048334
公開番号（公開出願番号）：特開2010-203857
出願日： 2009年03月02日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：

【課題】 特に、ダイアフラムの保護に加え、高精度な圧力測定を行うことが出来るとともにパッケージ強度を向上させることが可能な圧力センサのパッケージ構造を提供することを目的としている。【解決手段】 第1のキャビティ8上にダイアフラム9が配置され、前記ダイアフラム9の上面にピエゾ素子B〜Eが設けられたセンサ部3と、前記センサ部3上に配置され、前記ダイアフラム9との間に第2のキャビティ16を形成し且つ通気口17を備える剛性カバー4と、前記通気口17を覆うことなく前記センサ部3の側面から前記剛性カバー4の側面、さらには剛性カバー4の上面4cに設けられたモールド樹脂部5とを有して構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1のキャビティ上にダイアフラムが配置され、前記ダイアフラムの上面にピエゾ素子が設けられたセンサ部と、前記センサ部上に配置され、前記ダイアフラムとの間に第2のキャビティを形成し且つ通気口を備える剛性カバーと、前記通気口を覆うことなく少なくとも前記センサ部から前記剛性カバーの側面に設けられたモールド樹脂部とを有して構成されることを特徴とする圧力センサのパッケージ構造。

IPC (4件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84 ,  H01L 23/08 ,  H01L 23/02

FI (4件)：

G01L9/00 303P ,  H01L29/84 B ,  H01L23/08 A ,  H01L23/02 G

Fターム (19件)：

2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF23 ,  2F055FF43 ,  2F055GG25 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA07 ,  4M112CA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA14 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01