特許

J-GLOBAL ID：201003038086647633

故障診断のための範囲を定めた故障サイン

発明者： ハーベイ ジュニア リン ジェリー ,  シュワーム アレキサンダー ティー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 安齋 嘉章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-509809
公開番号（公開出願番号）：特表2010-501091
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

故障を診断する方法及び装置である。故障が検出される。故障に寄与した1つ以上のプロセス変数を判断する。1つ以上のプロセス変数の夫々の相対的な寄与を判断する。故障サインのどれが故障に適合するかに関して、判断を行う。1つ以上のプロセス変数の相対的な寄与が、適合する故障サインの相対的な寄与範囲内の時に、適合が生じる。故障サインは夫々、少なくとも1つの故障種別に関連している。

請求項（抜粋）：

故障を診断する方法であって、 故障を検出する工程と、 前記故障に寄与する1つ以上のプロセス変数を判断する工程と、 前記1つ以上のプロセス変数の夫々の相対的な寄与を判断する工程と、 複数の故障サインのどれが前記故障に適合するか判断する工程であって、前記1つ以上のプロセス変数の相対的な寄与が、前記適合する故障サインの相対的な寄与範囲内の場合、故障サインが前記故障に適合し、前記故障サインが夫々、前記少なくとも1つの故障種別に関連している工程とを含む方法。

IPC (3件)：

G05B 23/02 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

G05B23/02 T ,  H01L21/302 101M ,  H01L21/205

Fターム (14件)：

5F004BC03 ,  5F004CA02 ,  5F004CB12 ,  5F045GB02 ,  5F045GB05 ,  5F045GB06 ,  5F045GB16 ,  5F045GB17 ,  5H223AA05 ,  5H223BB01 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223EE30 ,  5H223FF06