特許

J-GLOBAL ID：201003038958474800

半導体露光装置

発明者： 平野 朝彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-092950
公開番号（公開出願番号）：特開2010-245332
出願日： 2009年04月07日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：

【課題】 半導体露光装置で用いられる基板において、固着していない軽微な異物を除去する。【解決手段】 送り込みハンド、ウエハチャックにZ方向に微振動させる機構をもたせ、ウエハ吸着時、吸着動作と同時に、ウエハに対して、ブロー、及び、微振動を与えながら、吸着させる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板を搬送する搬送装置と、基板を保持する基板チャックを備え、原版のパターンを基板に露光する露光装置において、前記基板、前記基板チャック、前記搬送装置のハンドを微振動させる機構を有し、前記基板吸着時、吸着と同時にブロー、及び、Z方向に微振動を与えながら、吸着することを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677

FI (5件)：

H01L21/30 503G ,  H01L21/30 514D ,  G03F7/20 521 ,  B65G49/07 G ,  H01L21/68 B

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA35 ,  5F031MA27 ,  5F031NA13 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CD01 ,  5F046CD03 ,  5F046CD10 ,  5F046DC10