感光性樹脂積層体

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 中村和広 , 小野田浩之 , 齋藤都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-097102
公開番号（公開出願番号）：特開2010-271709
出願日： 2010年04月20日
公開日（公表日）： 2010年12月02日
要約：

【課題】高感度で且つホールドタイムによる感度低下(すなわち感度変化)が少ない、すなわち保存安定性が良好な感光性樹脂積層体を提供する。また、該感光性樹脂積層体を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を露光及び現像することを含むレジストパターンの形成方法を提供する。【解決手段】支持体フィルムと、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層と、保護フィルムとを少なくとも含む積層体であり、該保護フィルムが、OH基の両隣にそれぞれ独立に水素又は炭素数1〜6のアルキル基を有する4-フェノール構造を含む酸化防止剤を含有し、該酸化防止剤のフェノール当量が3.1×10-3以下であり、該保護フィルム中の該酸化防止剤の含有量が、1ppmより多く3000ppm以下である、感光性樹脂積層体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

支持体フィルムと、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層と、保護フィルムとを少なくとも含む積層体であり、該保護フィルムが、下記一般式(I):

IPC (5件)：

G03F 7/11 , G03F 7/004 , H05K 3/00 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (5件)：

G03F7/11 501 , G03F7/004 512 , H05K3/00 F , H05K3/06 H , H05K3/18 D

Fターム (46件)：

2H125AC33 , 2H125AC34 , 2H125AC37 , 2H125AC63 , 2H125AD14 , 2H125AD24 , 2H125AM13P , 2H125AM23P , 2H125AM32P , 2H125AN23N , 2H125AN23P , 2H125AN47P , 2H125AN66P , 2H125AN75P , 2H125AN77N , 2H125AN79N , 2H125AN87P , 2H125BA09N , 2H125BA09P , 2H125BA16P , 2H125BA17P , 2H125CA13 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD01N , 2H125CD40 , 5E339BD11 , 5E339BE11 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE14 , 5E339CE16 , 5E339CF01 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E343CC63 , 5E343CC65 , 5E343DD32 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343FF07 , 5E343FF16 , 5E343GG03

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