特許
J-GLOBAL ID：201003039639867463
欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
, 荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-048114
公開番号（公開出願番号）：特開2010-203845
出願日： 2009年03月02日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】検査対象物に発生する欠陥の大きさにかかわらず欠陥の検出精度を維持可能な学習型の欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラムを提供する。【解決手段】検査画像IMGから、大きさの異なる複数の部分領域BLK(1),BLK(2),・・・,BLK(m)を抽出する。抽出された部分領域BLK(1),BLK(2),・・・,BLK(m)の各々の画像情報からそれぞれの画像ベクトルを算出し、さらに各画像ベクトルと対応する固有空間との間の距離Out1,Out2,・・・,Outmを算出する。さらに、これらの距離を要素とする応答ベクトルを算出し、この応答ベクトルを特徴空間に写像する。そして、予め決定した判別関数に基づいて、この応答ベクトルが正常値であるかはずれ値であるかを判断する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
欠陥を含まない学習画像から取得された学習結果に基づいて検査画像における欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
前記検査画像に設定された第1の評価領域を包含し、かつ互いに大きさの異なる複数の部分領域それぞれの画像情報を抽出する手段と、
前記検査画像から抽出される前記画像情報の各々から、前記部分領域の大きさ毎に検査画像ベクトルを生成する手段と、
前記部分領域の大きさ毎の検査画像ベクトルの各々について、対応の固有空間との間の距離を算出する手段と、
予め定められた判別関数を参照して、前記部分領域の大きさ毎の前記距離を要素とする第1の応答ベクトルに基づいて、前記第1の評価領域における欠陥の有無を判断する手段とを備える、欠陥検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EA20
, 2G051ED01
