薄膜バルク波共振器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史 , 深澤拓司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-223602
公開番号（公開出願番号）：特開2010-062642
出願日： 2008年09月01日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】積層共振体の信頼性を低下させることなく、封止時におけるキャビティ空間と外気との間の気圧差を低減できる薄膜バルク波共振器を提供する。【解決手段】薄膜バルク波共振器10は、積層共振体30と、積層共振体30がその厚み方向に自由振動できる空間を提供するキャビティ22を有する素子基板20と、キャビティ22の開口部を閉塞する蓋基板60であって、キャビティ22を外気に連通させるための気体流路63を有する蓋基板60と、積層共振体30、素子基板20、及び蓋基板60を封止する封止部材80とを備える。キャビティ22は、気体流路63を介して外気に連通しているので、封止部材80による封止処理前後を通じてキャビティ空間と外気との間に気圧差は生じない。このため、キャビティ空間と外気との気圧差による積層共振体30の破損や周波数特性の劣化を抑制できる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

積層共振体と、前記積層共振体がその厚み方向に自由振動できる空間を提供するキャビティを有する素子基板と、前記キャビティの開口部を閉塞する蓋基板であって、前記キャビティを外気に連通させるための気体流路を有する蓋基板と、前記積層共振体、前記素子基板、及び前記蓋基板を封止する封止部材と、を備える薄膜バルク波共振器。

IPC (6件)：

H03H 9/17 , H03H 3/02 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/24 , H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F , H03H3/02 C , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , H01L41/22 Z

Fターム (22件)：

5J108AA07 , 5J108BB04 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108DD01 , 5J108DD06 , 5J108DD09 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108FF05 , 5J108FF08 , 5J108GG03 , 5J108GG07 , 5J108GG17 , 5J108HH05 , 5J108KK01 , 5J108KK07 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (6件)

薄膜圧電共振器、高周波回路実装体及び薄膜圧電共振器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-282420 出願人：株式会社東芝
薄膜バルク音響共振器装置、及びこれを製造するための改良された方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-052627 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
特開昭60-068710

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