特許

J-GLOBAL ID：201003041166651438

粘着テープ及びウェーハの分割方法

発明者： カール・プリワッサ
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (3件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-104919
公開番号（公開出願番号）：特開2010-258136
出願日： 2009年04月23日
公開日（公表日）： 2010年11月11日
要約：

【課題】いわゆる先ダイシングの技術を用いてウェーハを個々のデバイスに分割する場合において、デバイスを破損させることなくデバイスのピックアップを円滑に行う。【解決手段】ウェーハWの表面の分割予定ラインに分離溝Gを形成した後にウェーハWの裏面W2を研削して裏面W2から分離溝Gを表出させて個々のデバイスDに分割し、分割されたウェーハWの裏面W2をテープ6に貼着してテープ6を伸張させてデバイスをピックアップするにあたり、テープ6として合成樹脂によって構成されたシート部材60の一方の面に粘着材61がドット状に敷設された粘着テープを使用することにより、粘着材が一面に敷設されたテープよりも粘着力を弱くしてウェーハWの保持力を弱くすることにより、デバイスDをピックアップしやすくする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

ウェーハに貼着され該ウェーハを支持する粘着テープであって、 合成樹脂によって構成されたシート部材と、該シート部材の一方の面にドット状に敷設された粘着材と から構成された粘着テープ。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/683

FI (6件)：

H01L21/78 M ,  H01L21/78 Q ,  H01L21/78 Y ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/304 631 ,  H01L21/68 N

Fターム (21件)：

4J004CA05 ,  4J004CC02 ,  4J004CE03 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA23 ,  5F031HA58 ,  5F031HA78 ,  5F031MA22 ,  5F031MA34 ,  5F031MA35 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031MA39

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 加熱剥離型粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-311201   出願人：クレハエラストマー株式会社
• 特公平5-054262
  

審査官引用 (2件)

• 加熱剥離型粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-311201   出願人：クレハエラストマー株式会社
• 特公平5-054262