特許

J-GLOBAL ID：201003041380844260

ウエハローディング・アンローディング方法および装置

発明者： 須藤 宏一 ,  酒井 健太郎
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  伊坪 公一 ,  榎原 正巳 ,  小林 龍
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-096354
公開番号（公開出願番号）：特開2010-251380
出願日： 2009年04月10日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：

【課題】ウエハカセットのドアの開閉に要する時間を短縮してスループットを向上したウエハローディング・アンローディング方法および装置の実現。【解決手段】取り出し口に設けられた開閉されるドア13を有し、複数のウエハWを収容するウエハカセット10を載置するウエハカセット載置部26と、ドア13を移動するドア移動機構22-25と、ウエハカセット10との間でウエハを搬出・搬入するウエハ搬送アーム30と、を備え、通常時はドア13を閉め、ウエハを搬出・搬入する直前にドアを開き、ウエハを搬出・搬入した後ドアを閉じるウエハローディング・アンローディング装置であって、ドア移動機構は、搬出・搬入するウエハのウエハカセット内の収容位置に応じて、ドアの開き位置を変化させる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

取り出し口に設けられた開閉されるドアを有するウエハカセットに収容された複数のウエハを搬出・搬入するウエハローディング・アンローディング方法であって、 通常時は前記ドアを閉め、前記ウエハを搬出・搬入する直前に前記ドアを開き、前記ウエハを搬出・搬入した後前記ドアを閉じ、 搬出・搬入するウエハの前記ウエハカセット内の収容位置に応じて、前記ドアの開き位置を変化させることを特徴とするウエハローディング・アンローディング方法。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA07 ,  5F031GA01 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031LA09 ,  5F031NA10 ,  5F031NA18 ,  5F031PA23