特許

J-GLOBAL ID：201003042196451774

ワーク搬送用容器の開閉機構を備えた搬送装置

発明者： 野口 忠隆 ,  竹下 浩二 ,  川又 宏行 ,  大久保 至晴 ,  石間 透浩
出願人/特許権者： 株式会社安川電機 ,  株式会社ニコン
代理人 (3件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-186497
公開番号（公開出願番号）：特開2010-027809
出願日： 2008年07月17日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：

【課題】ワーク搬送用容器を開ける際の衝撃を減らし、このときに発生するパーティクルを抑制する。【解決手段】ワーク搬送用容器19の上蓋20に突出部24を備え、容器開閉機構30に、突出部24の下面を支持可能な固定棚33と、底板21の上面に当接可能な第1押下部材38と、突出部24の上面に当接可能な第2押下部材39と、これらを昇降させる昇降機構部31と、を備え、ロボットハンド32に支持された状態のワーク搬送用容器19に対し、突出部24を第2押下部材39と固定棚33とで狭持し、底板21を第1押下部材38とロボットハンド32とで狭持しながら下降させて容器を開閉するようにした。 【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、 前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、 前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、 前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第1押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第2押下部材と、前記第1押下部材と前記第2押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、 前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第1押下部材と前記第2押下部材を下降させ、前記突出部を前記第2押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第1押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65B 69/00

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B65B69/00 Z

Fターム (11件)：

3E058AA01 ,  3E058BA05 ,  3E058CB10 ,  3E058DA03 ,  3E058GA06 ,  5F031CA07 ,  5F031EA14 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031MA27 ,  5F031PA23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3455072号
  

審査官引用 (2件)

• マスク収納容器開装置、露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-329879   出願人：株式会社ニコン
• レチクル保護装置および露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-376571   出願人：株式会社ニコン