特許
J-GLOBAL ID:201003042366298283

薬液処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 松下 亮 ,  青木 宏義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-331475
公開番号(公開出願番号):特開2010-153660
出願日: 2008年12月25日
公開日(公表日): 2010年07月08日
要約:
【課題】耐薬品性に優れており、薬液処理に対するマスキング効果を発揮することができ、しかも剥離後の被着体への粘着剤の残渣のないマスキング用剥離性粘着テープを提供すること。【解決手段】本発明の薬液処理方法は、送り出しロール及び巻き取りロールを用いたロール・ツー・ロール方式でフィルム型積層体に薬液処理を行う薬液処理方法であって、薬液処理面を有するフィルム型積層体の前記薬液処理面と反対側の面にサポート用テープを貼着した状態で前記薬液処理面に薬液処理を行う工程と、前記薬液処理後に前記サポート用テープを剥離する工程と、を具備することを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
送り出しロール及び巻き取りロールを用いたロール・ツー・ロール方式でフィルム型積層体に薬液処理を行う薬液処理方法であって、薬液処理面を有するフィルム型積層体の前記薬液処理面と反対側の面にサポート用テープを貼着した状態で前記薬液処理面に薬液処理を行う工程と、前記薬液処理後に前記サポート用テープを剥離する工程と、を具備することを特徴とする薬液処理方法。
IPC (4件):
H05K 3/06 ,  G03F 7/26 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/027
FI (6件):
H05K3/06 Q ,  G03F7/26 ,  H01L21/304 642A ,  H01L21/304 648Z ,  H05K3/06 J ,  H01L21/30 569D
Fターム (27件):
2H096AA26 ,  2H096BA00 ,  2H096JA04 ,  2H096LA02 ,  2H096LA30 ,  5E339AA02 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339BE13 ,  5E339CD01 ,  5E339CE16 ,  5E339CF15 ,  5E339EE04 ,  5F046LA09 ,  5F046LA11 ,  5F046LA19 ,  5F157AA04 ,  5F157AA63 ,  5F157AA64 ,  5F157AA92 ,  5F157AA93 ,  5F157AB42 ,  5F157AC01 ,  5F157BB02 ,  5F157CF93 ,  5F157DA21 ,  5F157DA43
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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