特許

J-GLOBAL ID：201003043791018428

共振周波数可変MEMS振動子

発明者： 神谷 亮平 ,  木村 文雄 ,  内山 武 ,  大海 学 ,  鷹巣 博昭
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-168651
公開番号（公開出願番号）：特開2010-011134
出願日： 2008年06月27日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

【課題】加工が容易で、かつ、消費電力を低減でき、従来に比べその共振周波数を容易に調整可能なMEMS振動子を提供する。【解決手段】基板111上に1或いは複数の点で固定され、表面に1或いは複数の櫛歯状の突起群が形成された振動体121と、振動体121の櫛歯状の突起群との間で櫛歯型キャパシタを構成する、表面に櫛歯状の突起群が形成された1或いは複数の静電電極161,162,163,164と、駆動電極141と、検出電極151と、を備え、櫛歯型キャパシタに直流電圧を印加することで振動体121の振動の周波数が変化するMEMS振動子。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に1或いは複数の点で固定され、表面に櫛歯状の突起が形成された振動体と、 前記振動体の前記櫛歯状の突起との間で櫛歯型キャパシタを構成する、表面に櫛歯状の突起が形成された静電電極と、駆動電極と、検出電極と、を備えたMEMS振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/24 ,  H03H 3/007 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

H03H9/24 Z ,  H03H3/007 Z ,  B81B3/00

Fターム (11件)：

3C081AA09 ,  3C081BA07 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081EA22 ,  5J108AA02 ,  5J108HH04 ,  5J108KK05 ,  5J108NA04 ,  5J108NB06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第6987432号公報。