プラズマモニタリング装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：前田均 , 鈴木亨 , 橋村一誠 , 堀江一基 , 船本康伸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-503963
公開番号（公開出願番号）：特表2010-527096
出願日： 2008年04月10日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】プラズマの放射状態を画像イメージとして取得した後、該画像イメージのピクセル情報を制御部で分析して、プラズマの放射状態をリアルタイムに観察することができるようにしたプラズマモニタリング装置を提供すること。【解決手段】本発明のプラズマモニタリング装置は、プラズマモニタリング装置であって、電源を供給する電源供給部と、反応ガスを供給する供給ラインと、内部で発生するプラズマを処理対象物に向かって放射する放射ノズルとが形成されるプラズマ供給手段と、該プラズマ供給手段から放射されるプラズマの放射状態を画像イメージとして取得するカメラ部と、該カメラ部の画像イメージのピクセル情報を数値化させて得た測定値を正常的な放射状態の基準値と比較して、プラズマの放射状態を検査する制御部とを備えて達成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマモニタリング装置であって、電源を供給する電源供給部と、反応ガスを供給する供給ラインと、内部で発生するプラズマを処理対象物に向かって放射する放射ノズルとが形成されるプラズマ供給手段と、該プラズマ供給手段から放射されるプラズマの放射状態を画像イメージとして取得するカメラ部と、該カメラ部の画像イメージのピクセル情報を数値化させて得た測定値を正常的な放射状態の基準値と比較して、プラズマの放射状態を検査する制御部と、を備えることを特徴とするプラズマモニタリング装置。

IPC (3件)：

H05H 1/00 , H01L 21/306 , H01L 21/304

FI (4件)：

H05H1/00 A , H01L21/302 103 , H01L21/304 645C , H01L21/304 648G

Fターム (26件)：

5F004AA01 , 5F004AA15 , 5F004AA16 , 5F004BA20 , 5F004BB28 , 5F004BC06 , 5F004CA08 , 5F004CB09 , 5F157AA42 , 5F157AA46 , 5F157AA73 , 5F157AB33 , 5F157AB82 , 5F157AC01 , 5F157AC13 , 5F157BG32 , 5F157BG85 , 5F157CB32 , 5F157CD21 , 5F157CE21 , 5F157CE84 , 5F157CE85 , 5F157CE89 , 5F157CF42 , 5F157CF82 , 5F157DA21

引用特許：

審査官引用 (5件)

溶射器
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-572342 出願人：スネクマ・セルビス
監視手段を備えた高周波誘導熱プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-227515 出願人：工業技術院長, 東京大学長, 東京電力株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日本電子株式会社
プラズマ制御方法及びその装置、並びにプラズマ測定方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-257456 出願人：ソニー株式会社

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