特許
J-GLOBAL ID:201003044638614123

FTIR法を用いたガス分析装置及びこれに用いるプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 西村 竜平 ,  佐藤 明子 ,  齊藤 真大
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-330241
公開番号(公開出願番号):特開2010-151624
出願日: 2008年12月25日
公開日(公表日): 2010年07月08日
要約:
【課題】得られた濃度が予め設定した適当でない濃度を示した場合に自動検出し、スペクトル補正により濃度を再計算することにより、様々な試料ガスを常に高精度に測定可能にする。【解決手段】FTIR法を用いたガス分析装置100であって、試料ガスに対して赤外光を照射して得られる吸収スペクトルにより、試料ガス中に含まれる測定成分の濃度を算出する濃度算出部21と、濃度算出部21により得られた濃度が、所定値未満であるか否かを判断する濃度判断部22と、濃度判断部において濃度が所定値未満であると判断された場合に、その時間の吸収スペクトルデータを用いてベースラインを補正し、それによって前記濃度を補正する補正部24と、を具備する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
FTIR法で得られた吸収スペクトルに基づいて試料ガス中の複数成分を定量分析するFTIR法を用いたガス分析装置であって、 前記試料ガスに対して赤外光を照射して得られる吸収スペクトルにより、当該試料ガス中に含まれる測定成分の濃度を算出する濃度算出部と、 前記濃度算出部により得られた濃度が、所定値未満であるか否かを判断する濃度判断部と、 前記濃度判断部において濃度が所定値未満であると判断された場合に、その時間の吸収スペクトルを用いてベースラインを補正し、それによって前記濃度を補正する補正部と、を具備するFTIR法を用いたガス分析装置。
IPC (2件):
G01N 21/35 ,  G01N 21/27
FI (2件):
G01N21/35 Z ,  G01N21/27 F
Fターム (16件):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059EE17 ,  2G059FF10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ14 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10 ,  2G059MM12 ,  2G059MM17 ,  2G059NN01
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る