特許

J-GLOBAL ID：201003045391295891

ミロー型干渉計装置

発明者： 葛 宗涛
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-055751
公開番号（公開出願番号）：特開2010-210352
出願日： 2009年03月09日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【課題】形状の変化幅が数μmを超えるような被検面を短時間で測定することが可能で、かつ装置構成が簡易なミロー型干渉計装置を得る。【解決手段】光源部10は、その出力光の可干渉距離が50μm以上1000μm以下となる中コヒーレント光源が用いられる。また、参照ミラー14は、光透過率が80%以上98%以下となるように形成されている。さらに、ビームスプリッタ16の光軸Z方向の厚みtBが、上記出力光の可干渉距離の2分の1よりも大となるように構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源部側より、対物レンズ、参照ミラーおよびビームスプリッタを光軸に沿ってこの順に有してなるミロー対物干渉系と、 前記光源部からの出力光を前記対物レンズに導き、該対物レンズにより該出力光を、収束しながら進行する照明光に変換し、該照明光により前記被検面を照明する照明系と、 前記対物レンズからの前記照明光のうち、前記ビームスプリッタ、前記被検面および該ビームスプリッタをこの順に経由して前記対物レンズに戻る物体光と、前記ビームスプリッタ、前記参照ミラーおよび該ビームスプリッタをこの順に経由して前記対物レンズに戻る参照光とを撮像面上に導き、該撮像面上に、前記物体光および前記参照光の干渉により形成される干渉縞を結像させる結像系と、を備えたミロー型干渉計装置であって、 前記光源部は、中コヒーレント光源からなり、 前記参照ミラーは、前記出力光の一部を反射しその余を透過する半透鏡からなる、ことを特徴とするミロー型干渉計装置。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B9/02 ,  G01B11/24 D

Fターム (32件)：

2F064AA09 ,  2F064BB03 ,  2F064BB04 ,  2F064CC02 ,  2F064EE10 ,  2F064FF03 ,  2F064GG22 ,  2F064GG44 ,  2F064GG47 ,  2F064GG64 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065DD09 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065GG12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07