特許

J-GLOBAL ID：201003045554291686

ガスの測定方法および測定装置

発明者： 余 万吉 ,  山▲崎▼ 和子
出願人/特許権者： ソナック株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-287344
公開番号（公開出願番号）：特開2010-112908
出願日： 2008年11月10日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：

【課題】測定対象ガスを、測定装置へ導入するまでの搬送経路による影響を可及的に低減し、安定した測定値が早急に得られるようにする。【解決手段】測定対象ガスを含むキャリアガスが導入される導入口52からの流路を、測定対象ガス用流路53とパージガス用流路54とに分岐し、パージガス用流路54には、測定対象ガスを除去するフィルター38および除塵フィルター37を設け、測定対象ガスを除去したキャリアガスをパージガスとしてチャンバ16のパージを行うようにし、パージ期間中においても、測定対象ガスを含むキャリアガスを測定装置3に導入し、これによって、パージ期間中は、測定対象ガスを含むキャリアガスを遮断する構成のように、測定装置3までの搬送経路に測定対象ガスが溜まって測定値が高くなるといった不具合を解消する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

測定装置にパージガスを導入してパージを行い、測定対象ガスを含むキャリアガスを、前記測定装置に導入して前記測定対象ガスを測定する方法であって、 前記測定装置に導入される前記キャリアガスから前記測定対象ガスを除去し、前記測定対象ガスを除去したキャリアガスを、前記パージガスとして用いることを特徴とするガスの測定方法。

IPC (1件)：

G01N 21/27

FI (1件)：

G01N21/27 C

Fターム (11件)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC05 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01