特許

J-GLOBAL ID：201003045796684402

金属積層膜用エッチング液組成物

発明者： 黒岩 健次 ,  永島 和明 ,  加藤 勝 ,  野原 正寛
出願人/特許権者： 関東化学株式会社 ,  シャープ株式会社
代理人 (1件)： 葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-039116
公開番号（公開出願番号）：特開2010-199121
出願日： 2009年02月23日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：

【課題】 本発明は、上部にアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる層、下部にチタンまたはチタン合金からなる層が積層された金属積層膜のエッチングに際して、サイドエッチングを抑制し、良好な断面形状を得ることができる、エッチング液組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、フッ素化合物と鉄イオンを含むエッチング液組成物であって、上部にアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる層、下部にチタンまたはチタン合金からなる層が積層された金属積層膜を一括エッチングするのに用いられる、前記エッチング液組成物、該エッチング液組成物を用いたエッチング方法に関する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

フッ素化合物と鉄イオンを含むエッチング液組成物であって、上部にアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる層、下部にチタンまたはチタン合金からなる層が積層された金属積層膜を一括エッチングするのに用いられる、前記エッチング液組成物。

IPC (1件)：

H01L 21/308

FI (1件)：

H01L21/308 F

Fターム (4件)：

5F043AA27 ,  5F043BB15 ,  5F043FF04 ,  5F043GG02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 薄膜トランジスタ液晶表示装置のエッチング液組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-065046   出願人：東進セミケム株式会社, 三星電子株式会社
• チタン剥離液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-045779   出願人：メルテックス株式会社
• チタン、アルミニウム金属積層膜エッチング液組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-226980   出願人：関東化学株式会社