特許

J-GLOBAL ID：201003045858094461

露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法

発明者： 木内 徹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-223787
公開番号（公開出願番号）：特開2010-062210
出願日： 2008年09月01日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、露光光が照射される第1位置を含む所定面内を基板を保持して移動可能な第1可動部材と、第1可動部材に配置され、供給された光をスケール板に導くエンコーダヘッドと、第1可動部材に追従するように移動する第2可動部材と、少なくとも一部が第2可動部材に配置され、供給された光をエンコーダヘッドに導く光学系と、第1可動部材と離れた位置に配置され、光を射出して、光学系に供給する光源とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

露光光で基板を露光する露光装置であって、 前記露光光が照射される第1位置を含む所定面内を前記基板を保持して移動可能な第1可動部材と、 前記第1可動部材に配置され、供給された光をスケール板に導くエンコーダヘッドと、 前記第1可動部材に追従するように移動する第2可動部材と、 少なくとも一部が前記第2可動部材に配置され、供給された光を前記エンコーダヘッドに導く光学系と、 前記第1可動部材と離れた位置に配置され、光を射出して、前記光学系に供給する光源と、を備えた露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 516B ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515G

Fターム (6件)：

5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC16 ,  5F046CC20 ,  5F046DB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許出願公開第2006/0227309号明細書