特許
J-GLOBAL ID：201003046340902846
セラミックス部材、プローブホルダ及びセラミックス部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-129438
公開番号（公開出願番号）：特開2010-275149
出願日： 2009年05月28日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：
【課題】快削性と共にシリコンに近い熱膨張係数を有し、高い強度を備えたセラミックス部材、このセラミックス部材を用いて形成されるプローブホルダ、及びセラミックス部材の製造方法を提供すること。【解決手段】少なくともフォルステライト及び窒化ホウ素を主成分として含み、窒化ホウ素が一方向に配向している焼結体であるセラミックス部材、セラミックス部材を用いて形成されるプローブホルダ、及びセラミックス部材の製造方法。セラミックス部材は、配向度が0.07以下であり、配向方向と平行な方向の20〜300°Cにおける熱膨張係数が(3〜5)×10-6/°Cであるか、又はJIS R 1601に基づく3点曲げ強度が250MPa以上である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくともフォルステライト及び窒化ホウ素を主成分として含み、前記窒化ホウ素が一方向に配向している焼結体であることを特徴とするセラミックス部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B35/58 103E
, G01R1/06 D
2G011AA09
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB05
, 2G011AB07
, 2G011AB10
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4G001BA03
, 4G001BA06
, 4G001BA09
, 4G001BA32
, 4G001BA35
, 4G001BB01
, 4G001BB06
, 4G001BB32
, 4G001BB35
, 4G001BC24
, 4G001BC25
, 4G001BC42
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BC55
, 4G001BD05
, 4G001BD12
, 4G001BD38
, 4G001BE01
, 4G001BE12
