感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-136080
公開番号（公開出願番号）：特開2010-282067
出願日： 2009年06月05日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：

【課題】表面平坦性に優れ、かつ基板の穴埋め性にすぐれた感光性樹脂組成物、及びドライフィルムタイプのアルカリ現像可能な感光性ソルダーレジストとなる感光性エレメントを提供する。【解決手段】(a)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(b)分子中に少なくとも1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)熱硬化剤、(e)重量平均分子量が80,000以下であるバインダーポリマーを含み、(c)光重合開始剤が(c-1)アシルフォスフィンオキシド化合物であり、その添加量が前記(a)+(b)に対し、質量で0.1〜10%で、(d)熱硬化剤が前記(a)+(b)に対し質量で0.1〜20%で、(e)バインダーポリマーが前記(a)+(b)+(e)=100質量部に対し、10〜30質量部含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(b)分子中に少なくとも1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)熱硬化剤、(e)重量平均分子量が80,000以下であるバインダーポリマーを含み、(c)光重合開始剤が(c-1)下記一般式(I)で表されるアシルフォスフィンオキシド化合物であり、その添加量が前記(a)+(b)に対し、質量で0.1〜10%で、(d)熱硬化剤が前記(a)+(b)に対し質量で0.1〜20%で、(e)バインダーポリマーが前記(a)+(b)+(e)=100質量部に対し、10〜30質量部含有することを特徴とした感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/029 , G03F 7/004 , G03F 7/027 , G03F 7/031 , G03F 7/033

FI (6件)：

G03F7/029 , G03F7/004 501 , G03F7/004 512 , G03F7/027 515 , G03F7/031 , G03F7/033

Fターム (19件)：

2H125AC34 , 2H125AC36 , 2H125AC53 , 2H125AD02 , 2H125AD06 , 2H125AD07 , 2H125AE08P , 2H125AM23P , 2H125AM32P , 2H125AN82P , 2H125AP09P , 2H125BA11P , 2H125BA16P , 2H125BA20P , 2H125BA22P , 2H125CA13 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC13

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