非破壊単結晶基板反り測定法及び測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：池田憲保 , 福田修一 , 佐々木敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-067195
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217127
出願日： 2009年03月19日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】互いに積層されてパッケージに収容された複数の単結晶基板の夫々について、パッケージを破壊することなく反りを測定する。【解決手段】パッケージにX線を照射するステップと、受光スリットの調節及びパッケージの高さ方向の位置調節を行うことにより、パッケージに収容された複数の単結晶基板により回折された複数の回折X線のなかから、所望の単結晶基板からの回折X線だけを選択的に検出するステップと、所望の単結晶基板からの回折X線のロッキング曲線を測定するステップと、パッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを含み、ロッキング曲線測定を行うステップとパッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを繰り返し行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに積層されてパッケージに収容された複数の単結晶基板の各々の反りを前記パッケージを破壊することなく測定する単結晶基板の反り測定方法であって、前記パッケージにX線を照射するステップと、受光スリットの調節と前記パッケージの高さ方向の位置の調節とを行うことによって、前記複数の単結晶基板により回折された複数の回折X線のなかから、所望の単結晶基板からの回折X線だけを選択的に検出するステップと、前記所望の単結晶基板からの回折X線のロッキング曲線を測定するステップと、前記パッケージを所定方向に一定距離移動させるステップと、前記ロッキング曲線測定を行うステップと前記パッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを繰り返し行うことを特徴とする単結晶基板の反り測定方法。

IPC (2件)：

G01B 15/04 , G01N 23/207

FI (2件)：

G01B15/04 Z , G01N23/207

Fターム (24件)：

2F067AA42 , 2F067BB01 , 2F067CC15 , 2F067HH04 , 2F067HH15 , 2F067JJ03 , 2F067KK09 , 2F067PP12 , 2F067RR19 , 2F067RR20 , 2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001GA13 , 2G001JA07 , 2G001KA20 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001NA07 , 2G001PA11 , 2G001PA15 , 2G001QA01 , 2G001SA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

結晶試料の形状評価方法および形状評価装置、プログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-042653 出願人：富士通株式会社
回折法によるひずみ測定装置及びひずみ測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-370074 出願人：国立大学法人名古屋大学, 国立大学法人新潟大学
半導体積層モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-184783 出願人：株式会社東芝

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