特許
J-GLOBAL ID：201003047916655145
シート貼付装置及び貼付方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-210396
公開番号（公開出願番号）：特開2010-050119
出願日： 2008年08月19日
公開日（公表日）： 2010年03月04日
要約：
【課題】材料の無駄な消費を抑制してコスト低下を図ることのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することに。【解決手段】減圧雰囲気で接着シートSを半導体ウエハWに貼付するシート貼付手段10であって、剥離シートRLに接着シートSが仮着された原反Rを繰り出す第1繰出手段12と、接着シートSを剥離シートRLから剥離するピールプレート13と、一方の面に接着剤層Aを有する帯状の補助テープTを繰り出す第2繰出手段14と、接着シートSの非接着面側を補助テープTの接着剤層Aに仮着する仮貼付手段15と、補助テープTに仮着された接着シートSケース11内の半導体ウエハWに相対させるとともに、ケース11内を減圧することで半導体ウエハWに接着シートSを貼付する貼付手段16とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
減圧室を形成する開閉可能なケース内に被着体を配置するとともに、当該被着体に相対する位置に接着シートを供給した状態でケース内を減圧することで前記被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて接着シートが仮着された原反を繰り出す第1繰出手段と、前記原反を繰り出す途中で接着シートを剥離シートから剥離する第1剥離手段と、前記第1繰出手段に併設されるとともに一方の面に接着剤層を有する帯状の補助テープを繰り出す第2繰出手段と、剥離シートから剥離される接着シートの非接着面側を前記補助テープの接着剤層に仮着する仮貼付手段と、前記補助テープに仮着された接着シートを開放したケース内の被着体に相対させるとともに、当該ケースを閉塞して減圧することで被着体に接着シートを貼付する貼付手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, H01L 21/304
, H01L 21/301
H01L21/68 N
, H01L21/304 622J
, H01L21/78 M
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA34
, 5F031MA37
