特許
J-GLOBAL ID：201003047917961185
基板割断装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-151854
公開番号（公開出願番号）：特開2010-149495
出願日： 2009年06月26日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：
【課題】 コンパクトな構成でありながら、受け部材の傾斜を防止して、基板を垂直に割断することが可能な基板割断装置を提供すること。【解決手段】 左領域Lにおいては、一方の支持部材53の第1の前出部分202が割断線101を超えて他方の支持部材54の第2の後退部分303へ向けて突出するとともに、他方の支持部材54の第2の前出部分304が割断線101を超えて一方の支持部材53の第1の後退部分201へ向けて突出しており、また、右領域Rにおいては、一方の支持部材53の第2の前出部分204が割断線101を超えて他方の支持部材54の第1の後退部分301へ向けて突出するとともに、他方の支持部材54の第1の前出部分302が割断線101を超えて一方の支持部材53の第2の後退部分203内へ向けて突出している。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
スクライブラインが形成された基板に力を加えることによって、この基板を前記スクライブライン上のX方向を向く割断線において割断する基板割断装置であって、
前記割断線を挟んで対向するように配置され、各々が、前記基板におけるスクライブラインが形成された側の面に、当接する一対の受け部材と、
前記一対の受け部材を、前記基板との当接面とは逆側の面から支持する一対の支持部材と、
前記一対の受け部材の対向する前縁が、前記割断線に対応する位置で互いに近づく接近位置と、前記接近位置から離隔した離隔位置との間を移動可能となるように、前記一対の支持部材をY方向に移動させる移動機構と、
前記基板のスクライブラインが形成された側の裏面にて、前記スクライブラインの背面に沿って線状に当接するブレードと、
前記一対の受け部材と、前記ブレードが接近するようにZ方向へ相対移動させて、基板に力を印加する割断力発生手段と、を備え、
前記一対の各支持部材は、前記各前縁が、前記割断線よりY方向に退避した後退部分と、前記割断線よりY方向に突出した前出部分とを備え、一方の支持部材の前出部分が他方の支持部材の後退部分へ向けて突出し、一方の支持部材の後退部分へ向けて、他方の支持部材の前出部分が突出するように対向配置していることを特徴とする基板割断装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
3C069AA02
, 3C069BB01
, 3C069CA05
, 3C069CA06
, 3C069CB01
, 3C069EA02
