特許

J-GLOBAL ID：201003048194886046

圧力バーストが生じない大容量クライオポンプ

発明者： バートレット・アレン・ジェイ ,  ドリスコール・マイケル・エー ,  エアコバッチ・マイケル・ジェイ・ジュニア ,  ジョンソン・ウィリアム・エル ,  サリバン・ロバート・ピー ,  シソエフ・セルゲイ ,  スティラ・マーク・エー ,  キャセロ・ジョン・ジェイ
出願人/特許権者： ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 杉本 修司 ,  野田 雅士 ,  堤 健郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-546407
公開番号（公開出願番号）：特表2010-516939
出願日： 2008年01月15日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：

【課題】排気面に平面状の氷結物が形成するのを防ぐことにより、この氷結物のフレークが昇華することで生じる真空チャンバの圧力急上昇を防止するクライオポンプを提供する。【解決手段】本発明のクライオポンプ10は、少なくとも第1ステージおよび第2ステージを有する冷凍機と、前記第2ステージを囲み前記第1ステージと熱的に接触し、再生処理時に液体が通過できるようにする排出孔45を有する輻射シールド35と、主要な凝縮面15、吸着剤を有する保護面、および主要でない凝縮面25を含む第2ステージアレイ155を備え、吸着剤を担持し、前記第2ステージと熱的に接触する主要な排気面150と、排出孔45を覆うように配置され、排出孔45を通過しないように気体を再案内することにより当該気体が主要でない凝縮面25に凝縮することを防ぎ、主要な凝縮面15に凝縮するように気体を再案内する邪魔部材200とを備える。【選択図】図5A

請求項（抜粋）：

真空容器と輻射シールドとの間における流れを案内することにより、凝縮膜が成長する位置を制御する方法であって、 前記真空容器と前記輻射シールドとの間に形成された環状空間から前記流れを遮断すること、 前記流れを主要な排気面に再案内すること、および 前記主要な排気面において前記気体を凝縮させて氷結物を形成すること、 を含む、凝縮膜成長位置制御方法。

IPC (1件)：

F04B 37/08

FI (1件)：

F04B37/08

Fターム (2件)：

3H076AA27 ,  3H076CC54

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特表平7-502793