特許
J-GLOBAL ID：201003048639504289
形状測定装置及び形状測定方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大渕 美千栄
, 布施 行夫
, 都築 美奈
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-024410
公開番号（公開出願番号）：特開2010-181247
出願日： 2009年02月05日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：
【課題】測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。【解決手段】格子パターンを有するパターン素子30と、パターン素子30と投影レンズ22とビームスプリッタ40とを介して格子パターンを測定対象物60に投影する投影部と、測定対象物60に投影された格子パターンをビームスプリッタ40を介して撮像する撮像部70と、撮像部70によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部82とを有し、測定部82が、焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
格子パターンを有するパターン素子と、
前記パターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影部と、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部とを有し、
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (20件)：
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065GG02
, 2F065HH03
, 2F065HH06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL05
, 2F065LL37
, 2F065LL43
, 2F065LL46
, 2F065LL53
, 2F065MM16
, 2F065NN05
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
