特許

J-GLOBAL ID：201003049622290443

ウエハ仮固定用耐熱性接着組成物およびフィルム

発明者： 河合 紀安 ,  友田 奈緒子 ,  友利 直己
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-106563
公開番号（公開出願番号）：特開2010-254808
出願日： 2009年04月24日
公開日（公表日）： 2010年11月11日
要約：

【課題】シリコンウエハを保持材料に仮固定する用途に好適な、保持材料およびウエハ間の優れた密着性を実現し、かつ耐熱性に優れたウエハ仮固定用耐熱性接着組成物を提供すること。【解決手段】下記一般式(I)又は(II)で表される繰り返し単位を有する重合体を含有するウエハ仮固定用耐熱性接着組成物を使用する。[一般式(I)および(II)中、Yは芳香族ジアミド或いは芳香族アミドイミドであり、Yは繰り返し単位毎に相違してもよい。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有する重合体を含有するウエハ仮固定用耐熱性接着組成物。

IPC (6件)：

C09J 177/10 ,  C08G 73/10 ,  C08G 69/40 ,  H01L 21/304 ,  C09J 7/02 ,  C09J 179/08

FI (6件)：

C09J177/10 ,  C08G73/10 ,  C08G69/40 ,  H01L21/304 622J ,  C09J7/02 Z ,  C09J179/08 B

Fターム (56件)：

4J001DA02 ,  4J001DB02 ,  4J001DC05 ,  4J001DC16 ,  4J001EB36 ,  4J001EC74 ,  4J001EE38D ,  4J001FB03 ,  4J001FC03 ,  4J001GA13 ,  4J001GD07 ,  4J001JA12 ,  4J001JA18 ,  4J001JA20 ,  4J004AA02 ,  4J004AA11 ,  4J004AA13 ,  4J004AA16 ,  4J004BA02 ,  4J004FA08 ,  4J040EB052 ,  4J040EC002 ,  4J040EG051 ,  4J040EH031 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040NA20 ,  4J043PA05 ,  4J043PA08 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB26 ,  4J043QB32 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA85 ,  4J043SB03 ,  4J043TA21 ,  4J043TA25 ,  4J043TB01 ,  4J043UA122 ,  4J043UA151 ,  4J043UB021 ,  4J043UB131 ,  4J043VA041 ,  4J043XA02 ,  4J043XA03 ,  4J043XA16 ,  4J043XB19 ,  4J043XB34 ,  4J043YA23 ,  4J043ZB01 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB47 ,  4J043ZB60