磁気再生ヘッドおよびその形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三反崎泰司 , 藤島洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-234337
公開番号（公開出願番号）：特開2010-092579
出願日： 2009年10月08日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：

【課題】抵抗変化率やSNRを維持しつつ、高い再生分解能を得る。【解決手段】磁気センサ1は、ABSに露出したスタック2と、スタック2の、ABSと反対側に位置する永久磁石層21とを備える。スタック2は、磁気フリー層29と非磁性層20と磁気フリー層28とが順に積層されたものである。永久磁石層21からのバイアス磁場24により磁化22,23が互いにほぼ直交した状態となる。スタック2は、条件式(1)を満たす矩形状の平面形状を有する。非磁性層20は磁気フリー層29と磁気フリー層28との強磁性結合の強度が最小となり、かつ、それらの相互間に反強磁性結合が生じるような厚さを有する。1/3≦(SH/TW)≦2/3 ......(1)【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体の上に、第1の磁気フリー層と、非磁性層と、第2の磁気フリー層とを順に積層することにより積層膜を形成する工程と、前記積層膜をパターニングすることにより、平面形状が下記の条件式(1)を満たす矩形状の積層体を形成する工程と、前記積層体から所定の距離を隔てた位置に強磁性層を形成する工程と、前記第1および第2の磁気フリー層の各々の磁化方向が互いに交差するように、前記強磁性層を磁化することにより前記第1および第2の磁気フリー層に対して一定方向に固着された磁場を印加する工程とを含み、前記非磁性層を、前記第1の磁気フリー層と前記第2の磁気フリー層との強磁性結合の強度が最小となり、かつ、それらの相互間に反強磁性結合が生じるような厚さとなるように形成することを特徴とする磁気再生ヘッドの形成方法。 1/3≦(SH/TW)≦2/3 ......(1) 但し、 SH:MRハイト TW:トラック幅方向の長さとする。

IPC (2件)：

G11B 5/39 , H01L 43/08

FI (3件)：

G11B5/39 , H01L43/08 Z , H01L43/08 B

Fターム (17件)：

5D034BA03 , 5D034BA12 , 5D034BA15 , 5D034BB09 , 5D034CA06 , 5F092AA05 , 5F092AA12 , 5F092AB02 , 5F092AC06 , 5F092AC11 , 5F092AD03 , 5F092BB31 , 5F092BB34 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB43 , 5F092BE27

引用特許：

審査官引用 (4件)

バイアスされた巨大磁気抵抗(GMR)要素を有する小型の読出/書込磁気ヘッド、その製造方法、及びそれによるフラックス遷移検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-294210 出願人：リード-ライトコーポレイション
特許第7035062号
特許第7035062号

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