特許

J-GLOBAL ID：201003049948590943

光波干渉計測装置

発明者： 蔵本 福之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-287779
公開番号（公開出願番号）：特開2010-230653
出願日： 2009年12月18日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：

【課題】安価で高精度な光波干渉計測装置を提供する。【解決手段】光波干渉計測装置は、複数のスペクトルを有する光束を射出する第1多波長光源200aと、第1多波長光源からの光束とは異なる波長を有する光束を射出する第2多波長光源200bと、第1多波長光源200a及び第2多波長光源200bからの光束を分離する偏光ビームスプリッタ6と、第2多波長光源200bからの光束を反射する参照面7と、第1多波長光源200aからの光束を反射する被検面8と、第1多波長光源200a及び第2多波長光源200bからの光束の干渉信号を分光する分波器9a、9bと、第1多波長光源200a及び第2多波長光源200bからの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する検出装置10a、10bと、検出装置10a、10bからの信号を処理して参照面7と被検面8との間の光路長差を算出する解析装置11とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のスペクトルを有する光束を射出する第1多波長光源と、 前記第1多波長光源からの光束と異なる波長及び直交する偏光成分を有する光束を射出する第2多波長光源と、 前記第1多波長光源からの光束と前記第2多波長光源からの光束とを分離する偏光光学素子と、 基準位置に設けられ、前記第2多波長光源からの光束を反射する参照面と、 被検物体に設けられ、前記第1多波長光源からの光束を反射する被検面と、 前記第1多波長光源からの光束と前記第2多波長光源からの光束の干渉信号を分光する分光光学素子と、 前記分光光学素子で分光された干渉信号から、前記第1多波長光源からの光束と前記第2多波長光源からの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する複数の検出器と、 前記検出器からの信号を処理して前記参照面と前記被検面との間の光路長差を算出する解析装置と、 を有することを特徴とする光波干渉計測装置。

IPC (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G01J 9/02

FI (3件)：

G01B9/02 ,  G01B11/00 G ,  G01J9/02

Fターム (39件)：

2F064AA01 ,  2F064CC08 ,  2F064EE01 ,  2F064FF02 ,  2F064FF05 ,  2F064FF08 ,  2F064GG04 ,  2F064GG16 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG41 ,  2F064GG42 ,  2F064GG49 ,  2F064GG53 ,  2F064GG55 ,  2F064GG68 ,  2F064GG70 ,  2F064HH06 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL21 ,  2F065LL22 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065LL57 ,  2F065LL67 ,  2F065UU07