特許

J-GLOBAL ID：201003050479129464

インプリント用テンプレートの形成方法およびこのテンプレートを用いたインプリント方法

発明者： 幡野 正之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 特許業務法人 天城国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-125997
公開番号（公開出願番号）：特開2010-278041
出願日： 2009年05月26日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】パターンの重ね合わせ精度を向上させることが可能なインプリント用テンプレートの形成方法および、この方法により形成されたテンプレートを用いたインプリント方法を提供すること。【解決手段】基板にパターンを形成することによりテンプレート13を形成する工程と、テンプレート13のパターンの位置ずれを評価する工程と、この評価の結果に基づいて、テンプレート13の側面に、パターンの位置ずれに対応した凹凸を形成する工程と、によって、テンプレート13を形成する。このように形成されたテンプレート13の側面17を、インプリント装置のクランプピン16によってクランプすることにより、パターンの位置ずれが補正されるようにテンプレート13を歪ませてインプリントする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板にパターンを形成することによりテンプレートを形成する工程と、 前記パターンを形成すべき基準位置に対する、前記テンプレートに形成されたパターンの位置ずれを検出する工程と、 この検出結果に基づいて、前記テンプレートの面内または周縁部に、前記位置ずれに対応した凹凸を形成する工程と、 を具備することを特徴とするテンプレートの形成方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B29C 33/38

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 B ,  B29C33/38

Fターム (17件)：

4F202AJ08 ,  4F202AP06 ,  4F202AR07 ,  4F202CA01 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD22 ,  4F202CK25 ,  4F209AJ08 ,  4F209AP06 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28