特許

J-GLOBAL ID：201003052012977006

面圧センサ

発明者： 片桐 誠 ,  頼永 宗男 ,  大曽根 一弘 ,  矢崎 芳太郎 ,  竹内 聡 ,  近藤 宏司
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  大橋 康史 ,  篠崎 正海
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-052364
公開番号（公開出願番号）：特開2010-204034
出願日： 2009年03月05日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：

【課題】高温時における低荷重領域で高感度に計測する面圧センサを提供する。【解決手段】基板(1)の表面(6)に対して、垂直となる基板(1)の側面(5、5’)に薄膜抵抗体(3)を形成し、基板(1)の表面(6)に垂直方向の荷重に対して、前記薄膜抵抗体(3)の歪を計測する面圧センサ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板(1)の表面(6)に対して垂直となる、基板(1)の側面(5、5’)に、薄膜抵抗体(3)を形成し、基板(1)の表面(6)にかかる荷重に対する、前記側面(5、5’)における歪を計測する面圧センサ。

IPC (1件)：

G01L 1/20

FI (1件)：

G01L1/20 A