特許
J-GLOBAL ID:201003052240147390

積層型圧電素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人あいち国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-069160
公開番号(公開出願番号):特開2010-225705
出願日: 2009年03月20日
公開日(公表日): 2010年10月07日
要約:
【課題】電気的導通性に優れた電極部と、高密度の圧電セラミック層とを兼ね備える積層型圧電素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】圧電セラミック層2と、Ag又はAg合金からなる電極部31を含む電極層3とを一体焼成してなり、圧電セラミック層2と電極層3とが交互に積層された積層型圧電素子1及びその製造方法である。圧電セラミック層2は、一般式(1)[Agh{Lix(K1-yNay)1-x}1-h]j(Nb1-z-wTazSbw)O3-kで表される等方性ペロブスカイト型化合物からなる。積層型圧電素子1の積層方向の断面に露出する内部電極32の全長に対する電極部31の長さの合計の割合は60%以上である。圧電セラミック層2の断面積に対する空隙の面積の割合が10%以下である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
圧電セラミック層と、内部電極を構成する電極部を含む電極層とを一体焼成してなり、上記圧電セラミック層と上記電極層とが交互に積層された積層型圧電素子において、 上記電極部は、Ag又はAg合金からなり、 上記圧電セラミック層は、一般式(1)[Agh{Lix(K1-yNay)1-x}1-h]j(Nb1-z-wTazSbw)O3-k(但し、0≦x≦0.2、0≦y≦1、0≦z≦0.4、0≦w≦0.2、x+z+w>0、0 IPC (5件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  C04B 35/00
FI (5件):
H01L41/08 S ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  C04B35/00 J
Fターム (22件):
4G030AA02 ,  4G030AA03 ,  4G030AA04 ,  4G030AA20 ,  4G030AA21 ,  4G030AA30 ,  4G030AA42 ,  4G030AA61 ,  4G030BA10 ,  4G030CA01 ,  4G030CA02 ,  4G030CA04 ,  4G030CA08 ,  4G030GA01 ,  4G030GA04 ,  4G030GA08 ,  4G030GA09 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA15 ,  4G030GA20 ,  4G030GA27
引用特許:
審査官引用 (5件)
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