多軸力覚センサおよび加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-029110
公開番号（公開出願番号）：特開2010-185725
出願日： 2009年02月10日
公開日（公表日）： 2010年08月26日
要約：

【課題】Z軸方向の力成分についてもノイズが相殺されるように演算して、検出精度を向上させることができる。【解決手段】歪発生部41a〜dに配設された第1群および第2群の歪検出用抵抗素子Sg1〜Sg4,Su1〜Su4の抵抗値をそれぞれ検出する第1および第2のブリッジ回路群Bg1〜Bg4,Bu1〜Bu4を備えた多軸力覚センサであって、歪発生部41a〜dは互いに直交する2軸上に形成され、第1群の歪検出用抵抗素子Sg1〜Sg4を一方の軸上において作用部2を挟んで対向して配設し、第2群の歪検出用抵抗素子Su1〜Su4を他方の軸上において作用部2を挟んで対向して配設するとともに、第1のブリッジ回路群Bg1〜Bg4は、引張力を受けた場合に正電圧を出力し、第2のブリッジ回路群Bu1〜Bu4は、引張力を受けた場合に負電圧を出力する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

外力が印加される作用部と、この作用部を支持する支持部と、この支持部と前記作用部とを連結する連結部と、この連結部に形成され前記外力による歪を発生させる歪発生部と、前記歪発生部に配設された第1群の歪検出用抵抗素子および第2群の歪検出用抵抗素子と、前記第1群の歪検出用抵抗素子の抵抗値をそれぞれ検出する第1のブリッジ回路群および前記第2群の歪検出用抵抗素子の抵抗値をそれぞれ検出する第2のブリッジ回路群と、を備えた多軸力覚センサであって、前記歪発生部は、同一平面上で互いに直交する2軸上に形成され、前記第1群の歪検出用抵抗素子を一方の軸上において前記作用部を挟んで対峙する位置に対向して配設し、前記第2群の歪検出用抵抗素子を他方の軸上において前記作用部を挟んで対峙する位置に対向して配設するとともに、前記第1のブリッジ回路群は、それぞれ前記第1群の歪検出用抵抗素子が前記外力により引張力を受けた場合に正電圧を出力し、圧縮力を受けた場合に負電圧を出力するように構成し、前記第2のブリッジ回路群は、それぞれ前記第2群の歪検出用抵抗素子が前記外力により引張力を受けた場合に負電圧を出力し、圧縮力を受けた場合に正電圧を出力するように構成したこと、を特徴とする多軸力覚センサ。

IPC (4件)：

G01L 5/16 , H01L 29/84 , G01P 15/12 , G01P 15/18

FI (4件)：

G01L5/16 , H01L29/84 A , G01P15/12 D , G01P15/00 K

Fターム (11件)：

2F051AB10 , 2F051DA03 , 2F051DB03 , 4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA29 , 4M112CA32 , 4M112CA33 , 4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (6件)

多軸力センサ用チップとこれを用いた多軸力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-311145 出願人：本田技研工業株式会社
力覚センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-233382 出願人：本田技研工業株式会社
力覚センサ用チップ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-234513 出願人：本田技研工業株式会社

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