特許
J-GLOBAL ID:201003055886618188
多層を基にした電気活性膜の製造
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西岡 伸泰
, 杉岡 佳子
, 辻本 孝臣
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-503584
公開番号(公開出願番号):特表2010-525566
出願日: 2008年04月17日
公開日(公表日): 2010年07月22日
要約:
所望の電気特性の連続膜が、予め作製されたナノ粒子の2つ又は3つの分散液を連続して印刷及びアニールすることによって得られる。
請求項(抜粋):
膜を製造する方法であって、
(a)基板と、流動性を有する複数の印刷塗料とを提供する工程であって、該複数の塗料はそれぞれ、特定の元素組成から予め作製されたナノ粒子の異なる分散液を含むと共に、100nm以下の平均サイズを有している工程と、
(b)1つの印刷塗料の層を前記基板上に印刷する工程と、
(c)印刷された層をアニールして連続膜を形成する工程と、
(d)別の又は同じ印刷塗料を用いて工程(b)及び(c)を繰り返して前記膜を形成する工程
とを有する方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L21/368 Z
, H01L31/04 E
Fターム (15件):
5F051AA10
, 5F051CB13
, 5F051CB21
, 5F051CB24
, 5F053AA50
, 5F053BB58
, 5F053BB60
, 5F053DD20
, 5F053FF01
, 5F053FF02
, 5F053HH01
, 5F053HH02
, 5F053LL05
, 5F053PP02
, 5F053RR05
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