特許
J-GLOBAL ID：201003056204723100
表面検査装置及びその校正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-046279
公開番号（公開出願番号）：特開2010-203776
出願日： 2009年02月27日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。【解決手段】照明光学系2により標準異物ウエハ110の表面に照明光を照射しつつ、その照射光により標準異物ウエハ110の表面を走査し、検出光学系3の検出器31〜34により標準異物ウエハ110の表面からの散乱光を検出し、その散乱光の検出結果と予め定めた基準値とを用いて検出器31〜34の光電子増倍管331〜334の検出感度を補正するための補正パラメータCompを算出し、その補正パラメータCompを経時劣化パラメータP、光学的特性パラメータOpt、及びセンサ特性パラメータLrに分離して管理する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被検査体の表面に照明光を照射する照射手段と、
前記照射手段からの照射光を前記被検査体の表面に走査する走査手段と、
前記被検査体の表面からの散乱光を検出する1つ以上の光検出手段と、
前記光検出手段の検出感度を測定するための基準となる測定光を発生する測定光発生手段から前記光検出手段に入射した測定光の検出結果と予め定めた基準値とを用いて前記光検出手段の検出感度を補正するための感度補正値を演算する補正値演算手段と、
前記感度補正値を表面検査装置の検出感度に影響する複数の要因に対応する要素パラメータに分離する分離演算手段と、
前記分離演算手段で分離した要素パラメータを記憶する記憶手段と
を備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, H01L21/66 J
2G051AA51
, 2G051AA71
, 2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051BB01
, 2G051BB03
, 2G051BB11
, 2G051CA02
, 2G051CA03
, 2G051CA08
, 2G051CB05
, 2G051CC09
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EA14
, 2G051EA24
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051EC02
, 2G051FA01
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA41
, 4M106CA46
, 4M106DB08
, 4M106DB20
, 4M106DJ19
