特許

J-GLOBAL ID：201003056897739277

再使用および再生可能な補助板付き研磨パッド

発明者： 鈴木 辰俊
出願人/特許権者： 東邦エンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-094396
公開番号（公開出願番号）：特開2010-214579
出願日： 2009年03月16日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】 従来1回の使用で廃棄していた研磨用パッドを再使用さらには再生可能にする。【解決手段】研磨用パッドの裏側にパッドに付いている両面テープを利用して補助板を取り付けて補助板付パッドとする。そして補助板を研磨機の定盤に両面テープ等で固定すれば、研磨機からパッドを取り外しても、パッドが曲がったり、折れたり、収縮したり、破れたりせず、再使用が可能となる。さらに取り外した使用済み補助板付パッドの表面を修正加工すれば、パッドを再生して繰り返し使用することが可能になる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板等の研磨パッドを補助板に貼り付け、その補助板を研磨機の定盤の上に固定することにより、脱着しても再使用できることを特徴とする補助板付き研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/00 W ,  B24B37/00 A ,  H01L21/304 622F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA15 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17