特許
J-GLOBAL ID：201003057223331970
レーザ加工方法及びレーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-092147
公開番号（公開出願番号）：特開2010-240689
出願日： 2009年04月06日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：
【課題】パルスレーザの出力ピーク値制御におけるデータ処理効率を改善してパルスレーザ加工の性能向上を図る。【解決手段】このレーザ加工装置は、ファイバレーザ発振器10、レーザ電源12、レーザ入射部14、ファイバ伝送系15、レーザ出射部16、制御部18、タッチパネル20等を有している。制御部18は、ハードウェア的には、CPU(マイクロコンピュータ)、FPGA(フィールドプログラマブル・ゲートアレイ)、ディジタル-アナログ(D/A)変換器,アナログ-ディジタル(A/D)変換器等を有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一定の期間に亘り一連のパルスレーザ光を被加工物に照射して所望のレーザ加工を行うレーザ加工方法であって、
前記一連のパルスレーザ光の出力のピーク値を規定する基準ピーク値について、前記一定の期間に亘り時間軸に沿って繋ぎ合わさる1つまたは複数の線形的な基準ピーク値特性を設定する第1のステップと、
各々の前記基準ピーク値特性について、少なくとも、初期値のデータと単位変化量のデータと演算処理回数のデータとを1ステージのパラメータデータとして生成する第2のステップと、
前記レーザ加工を実施する際に、各々の前記パルスレーザ光の出力波形の元になる原パルス波形を生成する第3のステップと、
前記レーザ加工を実施する際に、前記原パルス波形の生成と並行して、時間軸に沿って、各ステージ毎に前記パラメータデータを基に前記初期値に前記単位変化量を所定の周期で繰り返し継ぎ足す演算処理を行って前記基準ピーク値特性を復元する第4のステップと、
各々の前記パルスレーザ光について、前記原パルス波形と復元された前記基準ピーク値特性とに基づいて所望のピーク値を有する基準パルス波形を生成する第5のステップと、
前記基準パルス波形に基づいて各々の前記パルスレーザ光の出力波形および出力ピーク値を制御する第6のステップと
を有するレーザ加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4E068CA02
, 4E068CB02
, 4E068CC01
, 4E068CE08
, 4E068CK01
, 5F172ZZ01
