特許
J-GLOBAL ID：201003059693736308
駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
江上 達夫
, 中村 聡延
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007057041
公開番号（公開出願番号）：WO2008-126232
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：
駆動装置(100)は、ベース部(110)と、被駆動物(12)が搭載されると共に、移動可能なステージ部(130)と、ベース部とステージ部とを接続すると共に、前記ステージ部を一の方向に沿って移動させるような弾性を有する弾性部(120)と、ステージ部及び弾性部により定まる共振周波数でステージ部が一の方向(Y軸)に沿って共振するようにステージ部を移動させるための加振力を加える第1印加部(141、142、143、22)と、ベース部、ステージ部及び弾性部の夫々を又はステージ部上に搭載される被駆動物を他の方向(X軸)に沿って段階的に又は連続的に移動させるための駆動力を加える第2印加部(161、162、22)とを備える。
請求項（抜粋）：
ベース部と、
被駆動物が搭載されると共に、移動可能なステージ部と、
前記ベース部と前記ステージ部とを接続すると共に、前記ステージ部を一の方向に沿って移動させるような弾性を有する弾性部と、
前記ステージ部及び前記弾性部により定まる共振周波数で前記ステージ部が前記一の方向に沿って共振するように前記ステージ部を移動させるための加振力を加える第1印加部と、
前記ステージ部を又は前記ステージ部上に搭載される前記被駆動物を前記一の方向と略直交する他の方向に沿って段階的に又は連続的に移動させるための駆動力を加える第2印加部と
を備えることを特徴とする駆動装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G11B9/14 F
, G11B9/14 J
, G11B9/06 Z
